Fabrication and characterization of a hammer-shaped CMOS/BEOL-embedded nanoelectromechanical (NEM) relay

TítolFabrication and characterization of a hammer-shaped CMOS/BEOL-embedded nanoelectromechanical (NEM) relay
Tipus de publicacióJournal Article
Any de publicació2018
JournalMicroelectronics Engineering
Volum192
Start Page44
Campus d'excel·lència internacional U A B