9.5 % SCANDIUM DOPED ALN PMUT COMPATIBLE WITH PREPROCESSED CMOS SUBSTRATES

Títol9.5 % SCANDIUM DOPED ALN PMUT COMPATIBLE WITH PREPROCESSED CMOS SUBSTRATES
Tipus de publicacióConference Proceedings
Year of Conference2021
Conference NameIEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
Edició32
Campus d'excel·lència internacional U A B