MULTI-FREQUENCY THIN FILM HBAR MICROSENSOR FOR ACOUSTIC IMPEDANCE SENSING OVER THE GHZ RANGE

TítolMULTI-FREQUENCY THIN FILM HBAR MICROSENSOR FOR ACOUSTIC IMPEDANCE SENSING OVER THE GHZ RANGE
Tipus de publicacióConference Proceedings
Year of Conference2021
Conference NameInternational Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
Edició21
Campus d'excel·lència internacional U A B