Oct
22
2015
By apsi
| Título | CMOS-MEMS switches based on back-end metal layers |
| Tipo de publicación | Journal Article |
| Año de publicación | 2014 |
| Autores | Muñoz-Gamarra, JL, Vidal-Álvarez, G, Torres, F, Uranga, A, Barniol, N |
| Journal | Microelectronic Engineering |
| Volumen | 119 |
| Páginas | 127–130 |
