Oct
22
2015
By apsi
Título | Nanomechanical switches based on metal-insulator-metal capacitors from a standard complementary-metal-oxide semiconductor technology |
Tipo de publicación | Journal Article |
Año de publicación | 2014 |
Autores | Munoz-Gamarra, JL, Uranga, A, Barniol, N |
Journal | Applied Physics Letters |
Volumen | 104 |
Incidencia | 24 |
Páginas | 243105 |